FACILITIES

無機薄膜合成装置

PLD#1

パルスレーザー堆積装置#1

PLD#2

パルスレーザー堆積装置#2

Excimerlaser

エキシマレーザー発生装置#1

PLD#3

パルスレーザー堆積装置#3

PLD#4

パルスレーザー堆積装置#4

Excimerlaser2

エキシマレーザー発生装置#2

Sputterer

スパッタリング装置

MistCVD

ミスト化学気相蒸着装置

Spincoater

スピンコーター

無機粉体合成装置

Glove Box

グローブボックス

Electric furnace

卓上電気炉

Electric furnace

高温電気炉

Presser

ペレット成型用プレス器

Hume hood

ドラフトチャンバー

試料評価装置

XRD

X線回折装置

AFM

走査型マイクロプローブ顕微鏡

SEM

走査型電子顕微鏡

PPMS

物理特性測定装置(PPMS)

Prober

高磁場低温プローバー

Semiconductor_analyzer

半導体パラメーターアナライザー